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K7L-AT50漏液檢測帶有高度的抗化學(xué)品腐蝕能力。K7L能用于從半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施到食品加工設(shè)備的很多種應(yīng)用中。
電極間電阻檢測方式
從50MΩ電阻液體到普通水都能穩(wěn)定檢測。
可設(shè)定4級檢測范圍，能夠根據(jù)液體特性檢測。
防爆隔離柵（另售）
漏液位置檢測器在危險(xiǎn)環(huán)境中也能夠使用、具有小型防爆隔離柵，已形成產(chǎn)品系列。
交流檢測方式
采用交流方式向檢測帶供給信號，安全不觸電。
干擾消除回路（PAT）
使用了3芯電纜的干擾消除回路具有出色的抗干擾性，可穩(wěn)定檢測漏液。
多通道使用
電源回路與檢測回路的絕緣，在同一位置可安裝多個(gè)傳感器。
檢測半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施的結(jié)露和漏液
可以檢測清洗設(shè)備內(nèi)部的結(jié)露和周圍的漏液。
有的抗化學(xué)腐蝕性的檢測帶
電極采用SUS316，絕緣包層采用聚乙烯。提高了耐酸堿性等。
檢測液體化學(xué)品存儲(chǔ)罐的管接頭處的漏液
可將檢測帶纏繞在管接頭處等有可能漏液的部位上檢測漏液。
CMP儀器中量筒的液體泄漏檢測
能檢測泄漏到排水盤中的液體，從而預(yù)防裝置損壞及晶片的清洗不良。
檢測電鍍設(shè)備的清洗液的液位
檢測清洗槽內(nèi)的純水水位。
利用高靈敏度的高精度控制防止清洗不良。
注:在防爆區(qū)域中如果一個(gè)水槽上使用2個(gè)以上的K7L，請務(wù)必將水槽接地。
